专利名称--【光束位置和角度的调节装置】

基本信息
申请号 CN201310016305.7 申请日 2013-01-16 公开(公开)号 CN103092001A 公开(公开)日 2013.05.08
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 申请人地址 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱
发明人 张善华;曾爱军;袁乔;黄立华;任冰强;黄惠杰 专利类型 发明专利
摘要 一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置,其特点在于该装置由沿光束前进方向依次的普通透镜、双焦镜、图像传感器和计算机构成,所述的普通透镜和所述的双焦镜的长焦距共焦点,所述的图像传感器感光面位于所述的双焦镜的后焦面,所述的图像传感器的中心在系统光轴上,所述的图像传感器的输出端与所述的计算机的输入端相连。本发明装置不仅能够实现光束位置和角度的精确调节,而且结构简单、成本低。
主权项 一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置,其特征在于该装置由沿光束前进方向的普通透镜(01)、双焦镜(02)、图像传感器(03)和计算机(04)构成,所述的普通透镜(01)和所述的双焦镜(02)的长焦距共焦点,所述的图像传感器(03)感光面位于所述的双焦镜的后焦面,所述的图像传感器(03)的输出端与所述的计算机(04)的输入端相连。
IPC信息
IPC主分类号 G03F7/20(2006.01)I
IPC分类号 G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I
法律状态信息
法律状态公告日 2015.09.16 法律状态 授权 法律状态信息 授权
法律状态公告日 2013.06.12 法律状态 实质审查的生效 法律状态信息 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130116
法律状态公告日 2013.05.08 法律状态 公开 法律状态信息 公开
代理信息
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 申请人地址 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱
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