尖端科研装备技术创新团队 中国科学院沈阳分院
重点研究领域:先进装备制造
所在地:辽宁省,沈阳
机构简介:

尖端科研装备技术创新团队致力于先进真空装备研发,紧跟国内外先进技术,勇于实践创新。围绕大规模集成电路、高性能材料等产业对先进真空装备的需求,通过搭建真空获得技术与应用、真空应用实验与验证、真空密封技术与应用等研发平台以及超高真空清洗、真空表面处理特种工艺试验等配套设施,开展了洁净真空获得、洁净真空部件制备、洁净真空密封等研究,突破了典型重大关键装备及成套工艺、核心零部件与子系统制备技术,研制了先进真空技术成套装备,提高了我国真空技术领域的国际竞争力。

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