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准分子激光器及准分子激光应用设备

交易信息: 技术入股-面议元     
专利: 技术成熟度:已有样品  

技术领域:电子信息技术,先进制造技术,生物医药与医疗机械 应用领域:电子与信息,生物、医药技术,光机电一体化 最后更新时间:2017-07-24 11:02:18
所在地:中国 安徽省 合肥 高新区 (蜀山区)
所属用户简介:
中国科学院合肥物质科学研究院(以下简称合肥研究院)是中国科学院在安徽设立的一个综合性科研基地和人才培养基地,成立于2001年11月。合肥研究院位于合肥市西郊风景秀丽的董铺岛上,面积2.65平方公里。岛上三面环水,绿树成荫。江泽民总书记1998年莅临视察时对这里的科研环境给予了很高评价,并欣然题词“科学岛”,由此科学岛成为合肥研究院的别名。     合肥研究院下属10个研究所。在安徽光学精密机械研究所、等离子体物理研究所、固体物理研究所、合肥智能机械研究所4个老牌研究所基础上,自2006年起至2015年,陆续成立了强磁场科学中心、先进制造技术研究所、医学物理与技术中心、技术生物与农业工程研究所、核能安全技术研究所、应用技术研究所。截至2016年7月,在职职工2500余人,其中专业技术人员2000余人,高端科技专家如两院院士、万人计划、千人计划、杰出青年基金获得者、“973”首席科学家、“863”计划专家、关键技术人才等300多人。设有5个博士后站点,在站博士后73人。设有12个博士点和25个硕士点,在读研究生1600余人。自2014年起,合肥研究院招收的研究生全部拥有中国科学技术大学学籍。     合肥研究院长期承担着众多国家科研任务,主要研究领域涉及能源、环境、生物、材料、信息、国防,主要学科方向有磁约束核聚变科学与技术、先进核能与核安全技术、大气环境探测与监测技术、强磁场科学与技术、特殊环境服役材料、机器人与智能装备、现代农业技术、医学物理与技术以及国防战略高技术等。2015年获得国家自然科学基金项目169项,居全国科研机构第一位。     随着科研事业的发展,合肥研究院建成了20多个装备优良的国家或省部级重点实验室、研究中心和10多个大型技术物理实验平台,包括EAST核聚变实验装置、EAST辅助加热系统、稳态强磁场等三个大科学工程,办有《Plasma Science and Technology》等5个学术刊物,是中国主要的核聚变研究基地之一,是世界实验室在我国设立的核聚变研究中心,也是中国科学院重要的科技创新基地。   2005-2015年,合肥研究院获得国家科技奖共19项,其中国家科技进步奖-创新团队奖1项,国家科技进步一等奖4项、二等奖6项,国家自然科学二等奖3项,国家技术发明二等奖2项,国家国际科技合作奖3项;获得安徽省科学技术奖28项。2005-2014年发表的SCI收录论文累计被引用4117篇,在全国科研机构排名第7位,Nature Index 2015 综合指数位列全国科研机构第8位,SCI论文数量在全国科研机构中连续多年排名第3位。2015年发明专利申请量在全国科研机构中排名第四位。     2014年6月,合肥研究院成立了中科院合肥技术创新工程院,专门承担科技成果产业化工作。以此为中心,建设了铜陵皖江新兴产业技术发展中心(辐射皖南)和淮南新能源中心(带动皖北),形成了“一主两翼”的院地合作格局,并在多个县区设立项目示范基地,和企业联合成立了安徽省新能源汽车等8个产业技术创新联盟,构建了服务当地经济发展的科技成果转移转化体系。合肥研究院设有资产管理公司,直接投资或与社会资源合作成立控股参股公司36家。  
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l 技术基础:   安徽光学机械研究所是国内最早开展准分子激光研究的单位,在准分子激光技术上有雄厚的贮备,准分子器件相关工作曾获中科院科技进步二等奖三次、三等奖两次。准分子激光技术研究得到国家科技重大专项、国家自然科学基金、国家科技攻关项目、中科院重大仪器研制项目等资金支持,掌握大量先进的准分子激光单元技术。曾研制完成百瓦级大功率准分子激光器、焦耳级大能量准分子激光器、以及针对半导体光刻等应用的4kHz高重复率器件。本项目立足于团队掌握核心技术优势,在现有准分子激光器和部分工业、医疗应用设备样机基础上,完成产品化过程,并实现产业化运作。本项目主要产品为标准参数准分子激光器系列和基于准分子激光器的工业医疗设备。 l 市场分析: 常用准分子激光输出波长351nm、308nm、248nm、193nm、157nm。准分子激光单光子能量高,从3.5eV(351nm)到7.9eV(157nm),能有效打断材料组织中的共价键。与CO2及YAG激光不同,准分子激光通过激光诱导的化学过程对材料进行光解切除(photo ablation),避免了红外波段激光加工中的热效应以及激光生物组织切除中对周围组织的破坏,具有“冷加工”的特点。准分子激光器在工业、医疗、科研等领域有广泛的应用。 准分子激光器是半导体光刻设备、高端平板显示器(TFT LCD及OLED等)生产中的退火设备、激光精细加工设备(MEMS加工、打微孔、宝石刻蚀)、光纤光栅刻蚀、激光医疗设备(角膜屈光度矫正设备、308皮肤治疗机等)等工业和医疗设备的核心部件。目前准分子激光器产品的全球年销售量约9.5亿美元,中国大陆地区准分子激光器年销售量占全球市场约1/3。随着近年我国半导体制造、平板显示、LED、太阳能电池等行业的飞速发展,准分子激光器的市场需求量将有较大幅度提高。目前,此类器件绝大部分由Coherent、Cymer和Gigaphoton等日美公司提供。我们团队是最先研制出中国的第一代准分子激光器的团队之一,也是目前国内唯一一家有能力生产国产准分子激光器产品的团队。 l 社会经济效益: 准分子激光器在半导体集成电路光刻、精细加工、近视眼校正手术等传统应用领域的市场份额在全球激光材料加工市场中占1/5。这个市场处于稳定和成熟期;另外,平板显示低温退火、高密度印刷线路板制作、薄膜太阳能电池制备中的打孔等加工、垂直结构GaN LED制备工艺中的剥离技术、激光皮肤治疗等,属于准分子激光器应用的新兴市场,处于起步或成长期,有巨大的市场潜力。本项目所涉及的准分子激光器系列产品及基于准分子激光器的多种应用产品,其国际市场规模超过50亿元人民币,其中准分子激光系列及工业应用相关产品的用户多分布于亚洲,医疗产品用户在欧美和亚洲均有分布。目前国内的市场容量约在15亿元左右。     项目预期投入2000万元-5000万元,五年后将达到销售额8000万元以上,毛利超过2500万元,解决的就业人数预计在50-100人。该项目成功转化,将创建国内第一个以准分子激光工业设备为主流产品的高新技术企业,率先推出国产准分子激光应用设备,打破多年来国外在该领域的垄断。中国将进入继美日澳之后能够提供该设备的少数企业行列。



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